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4H-SiC缺陷概述

时间:2024-03-05 02:06 来源:未知 作者:admin 点击:

  4H-SiC概述(生长、特性、应用)、Bulk及外延层缺陷、光致发光/拉曼光谱法/DLTS/μ-PCD/KOH熔融/

  微管缺陷确实位于SiC晶锭表面一个大螺旋的中心,针孔的直径从0.5微米到几微米不等

  • 晶锭生长过程中的多型体混合——转换、聚结、成核——在TSD周围发生螺旋生长,以弥补多型体的不匹配

  • 这种方法对所有的晶锭产生了一个参考值,但实际上,它只是对所有晶片的一个近似值

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